更新時(shí)間：2024-08-22 08:51:51作者：佚名
1、國(guó)內(nèi)MEMS行業(yè)第一人是復(fù)旦大學(xué)老師包敏航。 包老師做傳感器10多年了，有深厚的理論基礎(chǔ)和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，目前是S&A和JMM雜志的refree，不知道是不是JMEMS的refree。我記得我是MEMS會(huì)議評(píng)委會(huì)的成員。復(fù)旦現(xiàn)已成為中國(guó)壓阻領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，在壓阻領(lǐng)域培養(yǎng)了一大批人才。想想復(fù)旦的條件和他們?nèi)〉玫某煽?jī)，讓人非常佩服。
2、北京大學(xué)擁有國(guó)內(nèi)目前（MEMS）工藝條件最好的技術(shù)，尤其是深槽刻蝕技術(shù)，被張大成先生徹底摸索，達(dá)到國(guó)際水平。但其他一切都馬馬虎虎。北京大學(xué)的幾件法寶：深槽蝕刻機(jī)、雙面光刻機(jī)、一套鑰匙和設(shè)備。目前，我國(guó)已發(fā)展出單層多晶硅的體硅工藝兩套和表面硅工藝一套。然而，北京大學(xué)做MEMS的時(shí)間相對(duì)較晚，直到97年才開(kāi)始做MEMS。所以，基礎(chǔ)還是比較薄弱的，沒(méi)有深厚的根基。北京大學(xué)在MEMS CAD方面也做了大量的工作，主要是973項(xiàng)目的任務(wù)。但它的主要優(yōu)點(diǎn)是在加工過(guò)程中。
3、清華大學(xué)有兩批做MEMS的人，Micro Institute和Jingyi，都做得不錯(cuò)。清華大學(xué)和東南大學(xué)是國(guó)內(nèi)最早的兩個(gè)MEMS單位，因此有著比較堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。但是清華大學(xué)的硬件設(shè)施非常好，所以也能做出一些更好的東西。就像在JMEMS上發(fā)表的Microphone一樣，據(jù)我所知，這是大陸上JMEMS上唯一發(fā)表的文章。清華大學(xué)的主要目標(biāo)似乎是系統(tǒng)集成，在這方面投入了更多的精力。雖然清華微研究院沒(méi)有專(zhuān)門(mén)的MEMS工藝線，但清華大學(xué)微研究院的IC工藝線卻讓國(guó)外高校羨慕不已。因此，清華微有著深厚的基礎(chǔ)、良好的設(shè)備、充足的人才，有著美好的未來(lái)。至于清華大學(xué)精密儀器部，周兆英先生做的微泵也非常強(qiáng)大，在MEMS大會(huì)上發(fā)表了。此外，精密儀器部門(mén)也有一套測(cè)試。它也屬于一個(gè)非常好的水平。
另外，清華大學(xué)的老師高忠禹也很優(yōu)秀，這在本文就不多說(shuō)了。我的導(dǎo)師曾經(jīng)帶領(lǐng)我們?nèi)グ菰L高先生的家。高先生是一個(gè)非常謙虛的人，我的論文審稿人包括高先生。
4、上海冶金研究院和北京大學(xué)一樣，在MEMS領(lǐng)域是個(gè)暴發(fā)戶，尤其是江公子的粗腿。目前，該院在MEMS方面發(fā)展迅速，具有一定的處理能力，在測(cè)試方面也做得很好。未來(lái)有可能成為中國(guó)MEMS的第一牛。因?yàn)樗绣X(qián)北京哪所國(guó)際學(xué)校好，他買(mǎi)了設(shè)備，再加上冶金學(xué)院的根基，做集成電路，還有足夠的人才，我估計(jì)他以后會(huì)很優(yōu)秀。
5、交通大學(xué)從一開(kāi)始就慘不忍睹，他選擇了西甲作為自己的研究方向，這注定了他命運(yùn)坎坷。我去過(guò)他們的實(shí)驗(yàn)室，它的狀況不是很好。不過(guò)，他們的老師陳迪還是想了很多辦法，做了很多事情。但我并不看好交通大學(xué)，我覺(jué)得他們的西甲能不能繼續(xù)下去，他們可能會(huì)往其他方向發(fā)展。
6.是時(shí)候談?wù)剸|南了。東南大學(xué)是中國(guó)最早的MEMS單元之一。想必大家都知道黃慶安先生的那本小黃書(shū)，這是迄今為止國(guó)內(nèi)最好的MEMS中文參考書(shū)。據(jù)說(shuō)，黃先生當(dāng)年出資1萬(wàn)元出版這本書(shū)。不能不說(shuō)，黃先生是中國(guó)MEMS的先驅(qū)。然而，東南大學(xué)沒(méi)有資金北京哪所國(guó)際學(xué)校好，這就是為什么東南大學(xué)在MEMS方面不是很強(qiáng)的原因。據(jù)說(shuō)東南航空現(xiàn)在專(zhuān)注于更便宜的MEMS CAD方面。我忍不住要說(shuō)，黃老師的眼光獨(dú)到。
7、說(shuō)說(shuō)東南，再說(shuō)說(shuō)習(xí)交通大學(xué)。習(xí)交通大學(xué)也在做MEMS，做得比較早，但還沒(méi)有做。我所知道的是，他們?cè)趬弘姺矫孀隽艘恍┖檬隆?/p>
8. 讓我們談?wù)勂渌麑W(xué)校。哈爾濱工業(yè)大學(xué)也在做MEMS，但更讓我印象深刻的是，他們?cè)陔娀瘜W(xué)腐蝕方面似乎處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位，沒(méi)有其他的給人留下深刻印象。中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)也在做MEMS，但我對(duì)此一無(wú)所知。此外，做MEMS的學(xué)校也很多，比如北京理工大學(xué)、北京工業(yè)大學(xué)、華南理工大學(xué)等，但都不是很成功。看來(lái)，北京理工大學(xué)在軍事上更有分量。過(guò)去，電子工業(yè)部的幾個(gè)研究所也在做MEMS，最好的有13個(gè)，具有一定的處理能力。比較有名的是熱對(duì)流加速度計(jì)，雖然沒(méi)有什么新奇的，但是據(jù)說(shuō)比加拿大還要好。它也是迄今為止國(guó)產(chǎn)MEMS器件中最接近市場(chǎng)的。此外，第24研究所也在研究集成電容器器件，目前還沒(méi)有令人鼓舞的消息，第24研究所的優(yōu)勢(shì)在于其電路優(yōu)勢(shì)。26個(gè)研究所的壓電研究處于國(guó)內(nèi)一流水平。長(zhǎng)春光學(xué)機(jī)械學(xué)院也在做一些MEMS的事情，但不是很清楚。中科院聲學(xué)研究所和電子研究所也開(kāi)始了MEMS，他們購(gòu)買(mǎi)了鑰匙和設(shè)備，電子研究所已經(jīng)擁有了氣體傳感器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，再加上高等院校在SAW方面的實(shí)力，他們將在SAW傳感器和超聲波噴墨打印頭上取得突破。他們似乎在做現(xiàn)場(chǎng)發(fā)射的事情，這就是北京理工大學(xué)和光學(xué)與力學(xué)研究所正在做的事情。
未來(lái)趨勢(shì)：上海和北京兩大基地。上海冶金學(xué)院是上海的加工基地，依托此，復(fù)旦大學(xué)、交通大學(xué)、東南都會(huì)圍繞上海冶金學(xué)院做點(diǎn)什么。北京可能有兩條MEMS工藝線，北京大學(xué)和清華大學(xué)。不過(guò)，我認(rèn)為北京大學(xué)還是最有可能成為中國(guó)MEMS代工廠的大學(xué)。
未來(lái)綜合實(shí)力將是清華大學(xué)和冶金學(xué)院的佼佼者，加工能力將是北京大學(xué)最好的，復(fù)旦大學(xué)的理論是最好的，東南地區(qū)將是東南地區(qū)最強(qiáng)大的。其他單位稍微差一些。未來(lái)，國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)的MEMS工藝肯定會(huì)在深溝刻蝕上占有一席之地，這也是國(guó)內(nèi)工藝級(jí)別唯一可以在國(guó)際上發(fā)言的東西。
中國(guó)的一些公司和研究機(jī)構(gòu)多年來(lái)一直在研究MEMS技術(shù)，并專(zhuān)注于其巨大的市場(chǎng)。中國(guó)科學(xué)家在MEMS技術(shù)的研究和推廣方面也取得了相當(dāng)大的成就。據(jù)有關(guān)資料介紹，在“九五”期間，我國(guó)科學(xué)家通過(guò)對(duì)微齒輪、微泵、微電機(jī)、微電機(jī)、微飛機(jī)、微型陀螺儀的研究，提出并發(fā)展了由于尺度效應(yīng)而產(chǎn)生的微力學(xué)。他們發(fā)現(xiàn)，一些宏觀脆性材料在納米尺度上具有很強(qiáng)的可塑性;在微管的流動(dòng)中，液體的表面張力和對(duì)管壁的粘附力已經(jīng)不能被忽視了。在納米加工及其表面質(zhì)量分析中，必須考慮原子之間的結(jié)合力和量子效應(yīng)。中國(guó)科學(xué)家還創(chuàng)造性地開(kāi)發(fā)了微納加工技術(shù)，如微電火花加工、三維半導(dǎo)體加工和深蝕刻（LIGA）技術(shù)，以及掃描隧道、原子力顯微鏡等納米測(cè)量技術(shù)，部分成果已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。此外，MEMS技術(shù)已經(jīng)開(kāi)始在中國(guó)的社會(huì)生活中發(fā)揮作用，如顯微操縱機(jī)器人已經(jīng)開(kāi)始在生物工程中的細(xì)胞分割、顯微外科手術(shù)和生物芯片制造過(guò)程中得到應(yīng)用;微型傳感器已被用于實(shí)時(shí)測(cè)量飛機(jī)的加速度、壓力等參數(shù);納米薄膜潤(rùn)滑技術(shù)已在長(zhǎng)征三號(hào)火箭和計(jì)算機(jī)硬盤(pán)的制造過(guò)程中得到應(yīng)用。
MEMS技術(shù)的研究涉及微電子學(xué)、材料學(xué)、物理學(xué)（力學(xué)和流體力學(xué)等）、化學(xué)、生物學(xué)、力學(xué)等多個(gè)學(xué)科。它的學(xué)科還擴(kuò)展到物理學(xué)的各個(gè)分支，如微尺度的力、電、光、磁、聲音、原子和表面，以及化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)和儀器等各個(gè)領(lǐng)域。雖然MEMS技術(shù)以微電子技術(shù)為支撐，但必須進(jìn)行微力學(xué)特有的三維加工，并且要求與集成電路工藝兼容，很難完全解決這個(gè)問(wèn)題。此外網(wǎng)校頭條，MEMS器件和系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和加工不同于傳統(tǒng)的設(shè)計(jì)和加工。傳統(tǒng)的設(shè)計(jì)和加工理念是從零件到組裝，最后到系統(tǒng)，采用自下而上的方法。MEMS系統(tǒng)是利用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)，在總體上考慮制造所有零部件、電路和系統(tǒng)幾乎同時(shí)進(jìn)行，零部件與系統(tǒng)緊密集成，是一種自上而下的方法。因此，需要從系統(tǒng)的高度采用新的觀念和設(shè)計(jì)處理。由于這些困難，研究人員和設(shè)計(jì)制造商非常需要一款功能強(qiáng)大且易于使用的MEMS計(jì)算機(jī)軟件工具。